- [必博动态]芯片废气处理方法-必博环保[ 2024-11-27 00:00 ]
- 芯片废气处理方法主要依据废气成分的不同而有所区别。芯片废气主要包括酸性废气、碱性废气、有机废气和特殊气体。以下是必博环保对芯片废气处理方法的详细阐述： 酸性废气处理 酸性废气主要来源于芯片清洗和蚀刻过程中使用的酸性化学试剂，如硫酸、盐酸、氟化氢等，这些过程会释放出氟化物、硫酸雾、氮氧化物、氯化氢等污染物。处理方法主要采用湿式洗涤塔，以碱性溶液为吸收液进行中和反应，去除废气中的酸性成分。同时，配置多级喷淋和填料层以提高净化效率
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