- [必博动态]光伏电池废气处理工艺-必博昆山[ 2025-04-16 00:00 ]
- 光伏电池生产过程中的废气主要来源于制绒、扩散、刻蚀、PECVD(等离子体增强化学气相沉积)等工序,成分复杂,包含酸性气体(HCl、HF)、氮氧化物(NOx)、挥发性有机物(VOCs)、硅粉颗粒物等。处理需兼顾高效净化与成本控制,以下为光伏电池废气处理综合方案: 一、废气成分及排放标准 主要污染物: 酸性气体:HCl(氯化氢)、HF(氟化氢)。 氮氧化物:NO、NO?。 VOCs:
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