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半导体洁净车间废气治理，转轮+催化燃烧的安全优化

文章出处：原创网责任编辑：蔡作者：蔡人气：-发表时间：2026-07-15 00:00:00【大中小】

半导体洁净车间对生产环境要求严苛，废气治理系统不仅要达标排放，还需保障车间洁净度与生产安全，转轮+催化燃烧工艺在洁净工序中应用广泛。

针对洁净车间要求，系统需做多重专项设计：一是前置三级精密过滤（G4+F7+H11），严格去除废气中的颗粒物，同时设备内部做镜面洁净化处理，避免颗粒物脱落二次污染；二是安全设计，催化燃烧无明火，反应温度低，配套完善的浓度监控与防爆泄压装置，避免影响车间安全生产；三是回风设计，部分洁净空气可返回车间复用，降低洁净车间空调能耗。

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